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                          過程工程所參與“芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液生產關鍵技術”項目獲2019年度國家科技進步二等獎
                          2020-01-10 |     【關閉窗口】
                              

                            過程工程所參與的“芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液生產關鍵技術”項目,突破了芯片用超高純電子級磷酸和高選擇性蝕刻液的進口替代難題,于110日上午,被授予2019年度國家科技進步二等獎。

                            項目由湖北興發化工集團股份有限公司、中國科學院過程工程研究所、武漢工程大學、湖北興福電子材料有限公司四家單位完成。圍繞國家化學和電子工業重大戰略需求,過程工程所綠色化工研究部的楊超、華超等研究員與上述企業合作,發明了高純黃磷與電子級磷酸規模化生產關鍵技術,實現了高端芯片用超高純電子級磷酸和高選擇性蝕刻液的國產化。

                            項目產品銷往三星電子、新加坡格羅方德、中芯國際、華虹宏力等國內外知名電子企業,推動了我國芯片制造等高新技術產業的發展。


                            (科技合作處/綠色化工研究部)

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